沈阳奇光真空技术研究所是新兴的民营真空科学仪器研究所。研究所坐落在中国真空基地之一的沈阳市，依托沈阳市的真空技术优势，为我国的先进半导体及新材料制备的进步提供坚实的设备保证。
研究所业务主要涉及新材料、新能源、表面科学等领域。主要产品有：化学气相沉积系列（CVD）、物理气相沉积系列（PVD）、真空处理炉系列、真空电源与控制系列。
研究所现有组装实验车间300多平方米，有进口检漏仪、氩弧焊机、等离子切割机、喷沙机、超声波清洗机等，加工配套车间500多平方米，车、铣、刨、磨、钻、镗、线切割、剪板、卷板等加工设备齐全，加工能力强，能够满足广大用户的工期和质量要求。
研究所的主要优势：一、非标真空设备的研发技术成熟、力量雄厚，产品全部采用三维可视设计，在深刻理解用户使用要求和实验原理的情况下，为用户提供多个相应的技术方案。用户确定方案阶段可以看到产品全部细节。二、不迷信经验，重视创新。根据真空物理化学原理及客户使用反馈，力求每台设备都有新进步
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