沈阳奇光真空技术研究所是新兴的民营真空科学仪器研究所。研究所坐落在中国真空基地之一的沈阳市,依托沈阳市的真空技术优势,为我国的先进半导体及新材料制备的进步提供坚实的设备保证。
研究所业务主要涉及新材料、新能源、表面科学等领域。主要产品有:化学气相沉积系列(CVD)、物理气相沉积系列(PVD)、真空处理炉系列、真空电源与控制系列。
研究所现有组装实验车间300多平方米,有进口检漏仪、氩弧焊机、等离子切割机、喷沙机、超声波清洗机等,加工配套车间500多平方米,车、铣、刨、磨、钻、镗、线切割、剪板、卷板等加工设备齐全,加工能力强,能够满足广大用户的工期和质量要求。
研究所的主要优势:一、非...